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A Novel and Simple Method for Independent Control of Ion Energy and Flux
【机 构】
：
InstitutefürPlasma-andAtomphysik,Ruhr-Universit(a)tBochum,Geb(a)udeNB05/692,44780Bochum,GermanyResea
【出 处】
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9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年10期
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