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Linear Internal ICP (Inductively Coupled Plasma) Source for Advanced Plasma Processing
【机 构】
：
DepartmentofAdvancedMaterialsEngineering,Sungkyunkwanuniversity,Suwon,440-746,Korea
【出 处】
：
9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年10期
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