论文部分内容阅读
在真空阴极弧离子镀的过程中,在阴极材料表面形成的阴极斑点处电流密度很大,斑点温度很高,发射出来的物质中包含有很大宏观粒子团(MPs:macroparticles),曲线型结构两种,该文介绍了MPs的形成机理,各种磁过滤器的基本结构作工作原理,并着重介绍90°弯曲弧磁过滤器的特点及离子分布规律。最后,概括介绍了阴极弧离子镀磁过滤器适用范围。