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冷阴极真空离子镀是属于物理气相沉积(PVD)技术范畴中的一项具体气相沉积方法。通过沉积可以实现在基体材料表面沉上形成一层或多层具有所需功能的某种物质的膜层。所以在工程上，也常气气相沉积称之为镀膜。
冷阴极真空弧光离子镀钛金设备的发展与应用
【摘 要】
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冷阴极真空离子镀是属于物理气相沉积(PVD)技术范畴中的一项具体气相沉积方法。通过沉积可以实现在基体材料表面沉上形成一层或多层具有所需功能的某种物质的膜层。所以在工
【机 构】
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河北遵化市超越然金集团公司
【出 处】
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首届全国耐蚀耐磨技术及工程应用研讨会
【发表日期】
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1998年10期
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