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本文研究了太阳能电池生产工艺中,在磷扩散制备PN结时,磷吸杂对多晶硅片少子寿命分布的影响。多晶硅中存在着高密度的缺陷和杂质,如晶界、位错、氧碳和金属等,而且其分布很不均匀。一方面导致原始多晶硅片少子寿命分布的不均匀性；另一方面,缺陷和杂质之间的相互作用,导致磷吸杂效果存在很大差别。实验表明,在磷扩散制备PN结时,磷吸杂效果显著依赖于多晶硅片内部缺陷和杂质的分布。