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该文通过对硅材料压阻系数的计算及程序的设计，给出了扩散硅力敏器件常用几个晶面上压阻系数分布曲线。讨论了硅材料的各向异性、Ｐ型硅Ｓｉ压阻系数与Ｎｓ、Ｔ的关系。为扩散硅压力传感器的设计提供了依据。
扩散硅力敏器件计算机辅助设计《硅材料压阻系数计算及程序》
【摘 要】
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该文通过对硅材料压阻系数的计算及程序的设计，给出了扩散硅力敏器件常用几个晶面上压阻系数分布曲线。讨论了硅材料的各向异性、Ｐ型硅Ｓｉ压阻系数与Ｎｓ、Ｔ的关系。为扩散硅压力传感器
【机 构】
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仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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中国仪器仪表学会'96沈阳传感器及应用学术会议
【发表日期】
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1996年期
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