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厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究
厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究
来源 :中国电子学会第十一届电子元件学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kwok916
【摘 要】
:
采用厚膜技术研制新型电倥式集成压力传感和感压元件。具有抗干扰能力强,灵敏度高,受分布电容、寄生电容影响小,耐腐蚀,耐高温的特点。该文主要介绍其原理、设计,并对非线性等相关
【作 者】
:
马以武
虞学犬
【机 构】
:
中国科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
:
中国电子学会第十一届电子元件学术年会
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
厚膜技术
电容式
集成压力传感器
抗干扰能力
相关技术
灵敏度高
寄生电容
工艺问题
感压元件
分布电容
耐高温
耐腐蚀
非线性
原理
设计
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采用厚膜技术研制新型电倥式集成压力传感和感压元件。具有抗干扰能力强,灵敏度高,受分布电容、寄生电容影响小,耐腐蚀,耐高温的特点。该文主要介绍其原理、设计,并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。
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