类金刚石膜作为HgCdTe红外探测材料钝化膜和增透膜的研究

• 作 者: 居建华;夏义本;
• 机 构: 大学材料科学与工程学院(上海)
• 出 处: 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议
• 发表日期: 1998年期
• 关键词: 类金刚石膜 HgCdTe红外探测材料钝化膜 增透膜

采用射频等离子化学汽相沉积法（RFPCVD）在HgCdTe晶体上沉积类金刚石碳（DLC）膜。俄歇电子能谱对DLC/HgCdTe界面分析结果表明类金刚石膜中的碳原子对衬底材料沾污影响较小，700A的类金刚石膜能完全抑制衬底组分的挥发，并兼有优越钝化和增透作用。红外透射光谱测试结果表明类金刚石膜在较宽波长范围内（7—20um）具有明显的增透效应。