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为解决频率选择面等大面积曲面表面金属薄膜图形的精密成型的技术瓶颈，研究开发了大面积三维激光刻蚀技术，利用短脉冲高峰值功率激光进行材料表面物质的精密去除，并具有复杂三维曲面加工的能力，实现跨尺度微米级精度的刻蚀。精密刻蚀不耐热的复合材料基底上的金属薄膜而不损伤基底，具有较大的难度。研究了热物性相差很大的材料体系在高功率激光照射下对金属薄膜的刻蚀去除机理及物理过程，设计完成了用于大面积曲面表面金属薄膜图形的激光刻蚀加工系统，并解决了三维复杂外形的型面跟踪、图形的定位和刻蚀过程控制策略等关键技术，同时解决了激光刻蚀技术空间环境适存性的问题。为了提高现有激光刻蚀技术的刻蚀精度、刻蚀速度及拓展应用领域，在现有激光刻蚀技术的基础上采用了新型激光器技术，五轴系统+扫描振镜加工，声光偏转配合扫描振镜双扫描等的刻蚀方法，完善包括软、硬件在内的控制技术，研究了多种薄膜/基底组合的激光刻蚀，取得了很好的结果。