InP基InGaAsP高Q环形谐振腔角速度传感器设计

来源 :第十七届全国凝聚态光学性质会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenpingaaa351

【摘要】

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　　采用三维矢量束传播法(BPM)，结合传输矩阵模型，对InP基大尺度InGaAsP无源环形谢振腔优化设计.在考虑吸收损耗、泄露损耗、弯曲损耗、散射损耗前提下，优化出传输损耗为0.31 d

【作者】

：

朱健张瑞英王凯

【机构】

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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所器件部,江苏省苏州市215123

【出处】

：

第十七届全国凝聚态光学性质会议

【发表日期】

：

2014年7期

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　　采用三维矢量束传播法(BPM)，结合传输矩阵模型，对InP基大尺度InGaAsP无源环形谢振腔优化设计.在考虑吸收损耗、泄露损耗、弯曲损耗、散射损耗前提下，优化出传输损耗为0.31 dB/cm的InGaAsP波导结构，获得品质因子高达7.8x105的环形谐振腔器件，进一步基于增益补偿设计，实现品质因子(Q)高达8×107.该高Q环形谐振腔设计为实现高灵敏度InGaAsP角速度传感器奠定基础.

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