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近几年来，有机-无机杂化的钙钛矿太阳能电池是光伏技术领域一个热点的研究内容得益于其优秀的光电性能.目前制备钙钛矿薄膜的方法主要分为溶液法和气相法，其中溶液法是主流的方法.然而传统的溶液法常用有毒溶剂DMF、DMSO溶解钙钛矿材料，这为后续产业生产带来不便[1].利用真空气相法制备钙钛矿太阳能电池不仅能够避免生产过程中有毒溶液的引进，降低生产成本，同时气相法具有成熟的产业化设备基础[2].为此我们通过控制低真空环境中碘甲胺(MAI)蒸气与蒸镀制备的碘化铅(PbI2)薄膜的反应时间来制备钙钛矿(CH3NH3PbI3)薄膜.实验显示气相法制备的钙钛矿薄膜相较溶液法制备的薄膜具有更好的结晶特性.基于FTO/TiO2/CH3NH3PbI3/Spiro-OMeTAD/Au的平面PIN结构的钙钛矿太阳能电池器件光电转换效率可达14.49％.此外，通过控制MAI的蒸发温度来调节CH3NH3PbI3薄膜的晶粒大小，在180℃的MAI蒸发温度下实现了微米级别晶粒CH3NH3PbI3薄膜的制备，减少了钙钛矿薄膜的缺陷，将光电转换效率提升至17.80％.