缺陷和原子扩散导致的量子级联激光器的失效

• 作 者: Yongzheng Hu Quande Zhang 胡永正 张全德
• 机 构: Key Laboratory of Semiconductor Materials Science, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of S
• 出 处: 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
• 发表日期: 2012年期
• 关键词: 缺陷 原子扩散 量子级联激光器 射线能谱仪 扫描电镜 有源区 条件 实验

　　研究了失效的量子级联激光器前腔面的情况，首先，通过扫描电镜(SEM)很明显的可以看到前腔面不再平整，取而代之的是有很多的裂纹和缺陷凹凸不平。其次用X射线能谱仪(EDS)进行了分析，可以得到量子级联激光器损坏的原因，即有源区损坏严重，原子的扩散，使得组分严重偏离最初的设计，不再满足出光的条件。理论和实验的结果符合的很好。