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随着固态高科技产业(集成电路产业、固体发光和激光器件产业、磁记录材料和器件产业等)的迅速发展，薄膜科学和技术愈来愈受到重视。本文对SiGe、GaN薄膜的生长问题做一综述。
SiGe、GaN薄膜生长的研究
【摘 要】
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随着固态高科技产业(集成电路产业、固体发光和激光器件产业、磁记录材料和器件产业等)的迅速发展，薄膜科学和技术愈来愈受到重视。本文对SiGe、GaN薄膜的生长问题做一综述。
【机 构】
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吉林大学集成光电子国家重点实验室电子科学与工程学院长春130012
【出 处】
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第十七届全国半导体物理学术会议
【发表日期】
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2009年8期
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