【摘 要】
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对金刚石薄膜成膜及应用技术进行研究,探讨金刚石薄膜作为固体润滑膜在轴承行业应用的可能性.研究认为轴承表面金刚石固体润滑膜宜采用物理气相沉积(PVD)工艺,该工艺沉积温度
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对金刚石薄膜成膜及应用技术进行研究,探讨金刚石薄膜作为固体润滑膜在轴承行业应用的可能性.研究认为轴承表面金刚石固体润滑膜宜采用物理气相沉积(PVD)工艺,该工艺沉积温度较低,镀膜后,不会改变轴承材料组织及性能,轴承精度基本不受损失.所得到的类金刚石膜,具有膜面平整光滑、摩擦系数低、耐磨损、耐高温、耐腐蚀、薄膜与基体结合力较强等优良性能,能够满足特殊工况轴承固体润滑需要.同时进行了金刚石薄膜性能测试与评价技术的研究.
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