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近红外光谱是指波长在0.78-2.5μm范围内的电磁波。通过对特定物质的近红外光谱分析可确定其组份,具有分析样品用量少等优点,广泛应用于生物学等领域。凹面光栅除了具有分光成像的功能外,还具有校正像差形成平场谱面的特点。本设计考虑使用MEMS技术来制造扫描微镜,实现单个探测器进行快速的光谱扫描探测,以此来提高光谱探测信号的质量,降低近红外光谱仪的成本。