【摘 要】
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本文基于超高/极高真空校准系统,结合质谱分析方法,实验研究了CNT阴极电离规工作过程中的气体成分变化,同时测试了CNT阴极电离规的宏观出气率,分析了微观气体脱附对电离规局
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,兰州,730000
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会
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本文基于超高/极高真空校准系统,结合质谱分析方法,实验研究了CNT阴极电离规工作过程中的气体成分变化,同时测试了CNT阴极电离规的宏观出气率,分析了微观气体脱附对电离规局部本底压力的影响.结果表明,CNT阴极表面独特的气体吸附一脱附特性,门极和阳极表面吸附气体受到高能电子的轰击脱附效应,均是制约电离规测量下限延伸的关键因素,通过较长时间的电流轰击和焦耳加热,可以有效降低各个电极表面的吸附气体量,将CNT阴极电离规电极出气引入的局部干扰压力降低到2.3x10-8Pa,该研究结果为推动CNT阴极电离规在超高/极高真空测量中的应用奠定了理论与实验基础.
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