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目前一个庞大的半导体设备产业,支撑着快速发展并走向极限的半导体产业.在进入新千年的时候,半导体技术即将跨越特征线宽100nm技术节点的时候,半导体设备厂商已在积极进行研发,赶在大生产来临之前提供商品化产品.本文就一些关键问题作一介绍.
挑战特征线宽＜100nm的半导体设备
【摘 要】
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目前一个庞大的半导体设备产业,支撑着快速发展并走向极限的半导体产业.在进入新千年的时候,半导体技术即将跨越特征线宽100nm技术节点的时候,半导体设备厂商已在积极进行研
【机 构】
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北京建中机器厂(北京)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年期
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