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重掺砷硅初底批量外延生产中存在着均匀性、一致性和重复性差等问题，该文对其主要原因－－－自掺杂进行了分析，并提出了抑制自掺杂的工艺，从而大大提高了批量生产中的工艺稳定性和成品率。
重掺砷硅初底外延工艺
【摘 要】
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重掺砷硅初底批量外延生产中存在着均匀性、一致性和重复性差等问题，该文对其主要原因－－－自掺杂进行了分析，并提出了抑制自掺杂的工艺，从而大大提高了批量生产中的工艺稳定性和成品
【机 构】
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工业部十三所
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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