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原子氧是低地球轨道对航天器影响最大的空间环境因素之一；严重影响着航天器在轨的安全运行。文中重点介绍了有机硅原子氧防护膜制备工艺对防护膜结构及性能的影响，分析了防护膜的聚合原理，并对防护膜的结构、成分进行了测试分析；从而获得了防护膜的工艺参数。最后对防护膜进行了原子氧测试，结果表明有机硅原子氧防护膜具有很好的耐原子氧性能。