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采用UMT摩擦学测试系统考察了氧化铬陶瓷薄膜／Si3N4摩擦副在干摩擦和水润滑下的摩擦学性能，通过对磨损表面形貌和磨痕表面的X射线能谱及二次离子质谱分析，探讨了其磨损机理。结果表明：水润滑可以有效地降低氧化铬陶瓷薄膜的摩擦系数和磨损率，主要原因是水引起主导磨损机制发生变化。水润滑情况下磨损表面生成了氢氧化铬的保护膜，磨损机制也由干摩擦时的粘着磨损转变为水润滑时的摩擦化学磨损和磨粒磨损。