【摘 要】
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本论文针对极化聚合物电光开关CPW(Coplanar Waveguide)行波电极进行了研究，详细分析了共面波导行波电极的各性能参数与其金属材料和各尺寸之间的关系，最终设计了以Al和Cu作为
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春 130012
【出 处】
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第六届全国塑料光纤、聚合物光子学会议
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本论文针对极化聚合物电光开关CPW(Coplanar Waveguide)行波电极进行了研究，详细分析了共面波导行波电极的各性能参数与其金属材料和各尺寸之间的关系，最终设计了以Al和Cu作为电极金属材料的CPW行波电极。结果表明，以Al作为电极材料，在中心电极宽度为30μm，电极间距为4μm，电极厚0．45μm的条件下，和以Cu作为电极材料，在中心电极宽度为30μm，电极间距为8μm，电极厚5μm的条件下，可以实现较好的阻抗匹配和相速匹配，以及较小的损耗系数。
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