【摘 要】
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OLED用ITO导电玻璃的技术要求有,降低ITO薄膜的微观表面粗糙度、进一步降低ITO的面电阻、要求在ITO之上还要镀金属导电膜、严格控制表面缺陷.相应的制造技术包括,改善表面粗
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OLED用ITO导电玻璃的技术要求有,降低ITO薄膜的微观表面粗糙度、进一步降低ITO的面电阻、要求在ITO之上还要镀金属导电膜、严格控制表面缺陷.相应的制造技术包括,改善表面粗糙度的软抛光方法、离子镀ITO膜技术、DC/RF溅射镀膜方法等;改善面电阻方法包括改善了的镀膜方法、增加金属膜层、采用超低电阻膜层结构等.
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