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采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验，均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构，为后续微电铸成型微齿轮提供了基本保障。
用于微齿轮制作的厚胶光刻工艺
【摘 要】
：
采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验，均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构，为后续微电铸成型微齿轮提
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所 四川 绵阳 621900
【出 处】
：
全国信息与电子工程第四届学术年会暨四川省电子学会曙光分会第十五届学术年会
【发表日期】
：
2010年期
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