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介绍制备超晶格结构材料的ＭＢＥ技术，以及材料性能和器件应用情况；从微结构设计出发，比较深入地研究了平面掺杂ＧａＡｓ／Ａｌ（Ｇａ）Ａｓ超晶格结构二维电子气有关性质，实验工作取得了重要的进展。
MBE生长超晶格材料与应用研究
【摘 要】
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介绍制备超晶格结构材料的ＭＢＥ技术，以及材料性能和器件应用情况；从微结构设计出发，比较深入地研究了平面掺杂ＧａＡｓ／Ａｌ（Ｇａ）Ａｓ超晶格结构二维电子气有关性质，实验工作取得了重要的进展。
【机 构】
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工业部第13研究所
【出 处】
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第九届全国化合物半导体.微波器件.光电器件学术会议
【发表日期】
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1996年期
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