大面积非晶硅叠层电池氢稀释顶电池研究

• 作 者: 任慧志[1]孙建[2]薛俊明[3]侯国付;张德坤;赵颖;耿新华;
• 机 构: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
• 出 处: 第九届中国太阳能光伏会议
• 发表日期: 2006年期

本文利用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,对非晶硅叠层太阳电池顶电池的本征层(i层)的氢稀释度进行了优化研究.通过调节反应气体硅烷浓度(SC),在非晶/微晶过渡区附近(硅烷浓度6﹪,温度170℃的条件下)得到短波响应增强、扩展了光谱的叠层电池顶电池.通过优化氢稀释顶电池工艺,得到初始效率达到9.2﹪的400cm2非晶硅叠层太阳电池.