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本文考虑机械场、电场及温度场的耦合效应,建立基于功能梯度材料的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)微梁结构热-机-电耦合非线性力学模型。基于欧拉梁模型,采用冯卡门非线性理论推导功能梯度微梁控制方程,并采用微分求积法对控制方程进行求解。综合分析尺寸效应、非线性电场力、温度及材料梯度参数对微梁非线性振动特性的影响,为MEMS 系统设计与优化提供一种新的设计思路。