【摘 要】
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本文提出了一种新的基于芯片的用于分离微纳米级颗粒的MEMS超声分离装置。在这种装置中，采用MEMS技术在硅基上制造出氮化硅薄膜结构，将一对PZT-4薄片粘结在硅基上作为驱动器。
【出 处】
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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
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本文提出了一种新的基于芯片的用于分离微纳米级颗粒的MEMS超声分离装置。在这种装置中，采用MEMS技术在硅基上制造出氮化硅薄膜结构，将一对PZT-4薄片粘结在硅基上作为驱动器。由于能量耦合效应，在PZT-4的驱动下，氮化硅薄膜受激振动产生超声驻波场，利用超声驻波场中产生的声学辐射力分离生物颗粒或其它微粒。
文中对微纳米颗粒的超声分离进行了理论分析，描述了能够实现分离的微装置的的具体构造，完成了MEMS超声分离装置的微制造过程。在此基础上采用有限元方法对超声分离装置的特性进行了分析，给出了装置的结构振型及响应情况，并对微纳米颗粒的分离效果进行了研究。
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