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用ＰＥＣＶＤ制备的ＳｎＯ<,2>薄膜气敏特性研究
【机 构】
：
电子工业部第49研究所
【出 处】
：
第三届全国气湿敏传感技术学术会议
【发表日期】
：
1994年期
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