【摘 要】
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XPS对磁控溅射制备的氧化钒薄膜结构进行了研究。对于非掺杂氧化钒薄膜可以用XPS谱V2p〈,3/2〉特征峰标定薄膜的相结构。对于W掺杂的氧化钒薄膜,XPS不仅可以标定薄膜的相结构而且还可以给出W掺杂
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XPS对磁控溅射制备的氧化钒薄膜结构进行了研究。对于非掺杂氧化钒薄膜可以用XPS谱V2p〈,3/2〉特征峰标定薄膜的相结构。对于W掺杂的氧化钒薄膜,XPS不仅可以标定薄膜的相结构而且还可以给出W掺杂量的定量结果。
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