【摘 要】
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采用多弧离子镀技术在高温合金钢(GH4169)表面制备了Cr2O3薄膜,研究不同退火温度对薄膜的结构及性能的影响。利用场发射扫描电镜(FESEM)、X射线衍射(XRD)和高分辨透射电镜
【机 构】
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兰州化学物理研究所,甘肃兰州 730000
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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采用多弧离子镀技术在高温合金钢(GH4169)表面制备了Cr2O3薄膜,研究不同退火温度对薄膜的结构及性能的影响。利用场发射扫描电镜(FESEM)、X射线衍射(XRD)和高分辨透射电镜(HRTEM)观察薄膜的结构,采用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机对薄膜的力学性能和摩擦学性能进行研究。结果表明:当退火温度达到400℃ 时薄膜结晶度大大提高,薄膜的韧性和磨损寿命也都得到提高。当退火温度达到700℃ 时,在热应力的作用下薄膜表面出现微裂纹,摩擦系数变大,但磨损寿命却没有降低。经过1000℃ 退火后薄膜表面出现网状凸起结构,这种结构具有较高的硬度和韧性,并且薄膜的摩擦系数和磨损率大大降低。
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