【摘 要】
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采用高功率脉冲复合磁控溅射技术与直流磁控溅射技术制备Ti/MoS2-C多层复合膜，并研究不同C含量对复合膜结构和性能的影响.利用Raman、XPS、纳米压痕仪及划痕仪等对薄膜的
【机 构】
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中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波 315201
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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采用高功率脉冲复合磁控溅射技术与直流磁控溅射技术制备Ti/MoS2-C多层复合膜，并研究不同C含量对复合膜结构和性能的影响.利用Raman、XPS、纳米压痕仪及划痕仪等对薄膜的组织、结构和力学性能进行表征，利用多功能摩擦磨损试验机在水、油以及不同湿度等环境下测试薄膜的摩擦学性能.结果表明：利用高功率磁控溅射技术制备的Ti过渡层改善MoS2-C复合膜的结合性能；含C量为41％左右时的Ti/MoS2复合膜在潮湿气氛下能够维持较低的摩擦系数，其摩擦系数低于0.1；掺入C能够改善MoS2薄膜的环境适应性.
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