聚酰亚胺(PI)树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用

来源 :第八届中国微米/纳米技术学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zoufan20007

【摘要】

：

聚酰亚胺树脂(PI)因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质,在电容RF MEMS开关的制作过程中,应用它

【作者】

：

彭慧耀[1]于映[1]罗仲梓[2]王培森[1]

【机构】

：

福州大学电子系,福州,350002

【出处】

：

第八届中国微米/纳米技术学术年会

【发表日期】

：

2006年期

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聚酰亚胺树脂(PI)因其良好的平面化特性、在氧气中易灰化、不完全固化易溶解于碱性显影液、在CHF3等离子气氛中有较强的抗蚀性等性质,在电容RF MEMS开关的制作过程中,应用它作为刻蚀保护层和牺牲层,不但可以使工艺过程得到简化,而且可以对开关的介质层尺寸、牺牲层厚度等图形参数起到很好的控制作用.

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