【摘 要】
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采用金属有机物热分解法(MOD)制备了2种不同膜厚,具有(001)择优的四方相PbZrTiO(PZT)铁电薄膜.分别用极图和XRD图谱估算了PZT薄膜的有效弹性常数.在极图分析方法中,高斯分布
【机 构】
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湘潭大学材料与光电物理学院(湘潭)
【出 处】
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中国科协第五届青年学术年会材料科学技术分会暨第三届海内外中华青年材料科学技术研讨会
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采用金属有机物热分解法(MOD)制备了2种不同膜厚,具有(001)择优的四方相PbZr<,0.52>Ti<,0.48>O<,3>(PZT)铁电薄膜.分别用极图和XRD图谱估算了PZT薄膜的有效弹性常数.在极图分析方法中,高斯分布函数能够较好地描述薄膜中晶粒的分布趋势,用(001)极图可以估算(001)择优PZT薄膜的有效弹性常数.用XRD图谱分析薄膜中(hkl)织构的相对轴密度,并以此近似地作取向的统计平均,可得到PZT薄膜的有效弹性常数.结果表明,用这2种方法估算PZT薄膜有效弹性常数得到的结果比较接近,在相同工艺下不同厚度的PZT落膜其弹性不同.
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