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阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.
GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展
【摘 要】
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阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.
【机 构】
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新疆大学物理系(乌鲁木齐)
【出 处】
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中国科协第五届青年学术年会材料科学技术分会暨第三届海内外中华青年材料科学技术研讨会
【发表日期】
：
2004年期
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