【摘 要】
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The effect of Cl2 inductively coupled plasma (ICP) treatment on the time dependence of work function and chemical composition of indium-tin-oxide (ITO) surface were investigated.Kelvin probe (KP) meas
【机 构】
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Department of Light Sources and Illuminating Engineering, Fudan University, Shanghai 200433
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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The effect of Cl2 inductively coupled plasma (ICP) treatment on the time dependence of work function and chemical composition of indium-tin-oxide (ITO) surface were investigated.Kelvin probe (KP) measurements show that the work function after Cl2 plasma treatment is close to 5.9eV and begins to drop rapidly in the first two hours and decreases slowly two hours later.
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