【摘 要】
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In recent years, atmosphere-pressure cold plasmas were becoming increasingly important in biomaterial and industrial applications such as surface treatment, semiconductor fabrication, thin film deposi
【机 构】
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School of Physics and Materials Engineering, Dalian Nationalities University, Dalian 116600, People
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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In recent years, atmosphere-pressure cold plasmas were becoming increasingly important in biomaterial and industrial applications such as surface treatment, semiconductor fabrication, thin film deposition, food processing and disinfection for its low surface temperature without complicated vacuum chamber system.Here, various hollow-core optical fiber based plasma generators were reported.
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