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针对洁净室几种空气循环方式及化学过滤器的设置,建立气流流程,导出稳定条件下有关空气分子污染(AMC)控制计算公式.通过计算帮助设计人员寻求优化的方案.
关于空气分子污染(AMC)控制计算的探讨
【摘 要】
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针对洁净室几种空气循环方式及化学过滤器的设置,建立气流流程,导出稳定条件下有关空气分子污染(AMC)控制计算公式.通过计算帮助设计人员寻求优化的方案.
【机 构】
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信息产业电子第十一设计研究院有限公司
【出 处】
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第十八届国际污染控制学术会议
【发表日期】
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2006年9期
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