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城区地铁隧道衬砌是隧道系统的支护结构，衬砌的可靠性是地铁安全运营的基础。本文利用随机有限元方法对深埋地铁隧道进行可靠度分析，结构有限元模型采用纤维单元模型，随机变量考虑考虑材料属性和围岩压力等参数，以隧道村砌结构关键点位移为极限状态方程，对各随机变量进行灵敏度分析，按照串联系统，分别利用宽界限法和窄界限法计算体系可靠度。计算结果表明，按照现行规范设计的深埋隧道具有较高的可靠度水平，影响结构可靠性的主要随机参数为隧道衬砌钢筋的弹性模量、混凝土抗压强度和竖向围岩压力。