论文部分内容阅读
简述了离子注入机的应用发展,并详细分析了该领域的技术发展方向;概述了离子注入国内外现状和发展趋势,并阐述了发展的重要意义.
离子注入机国内外现状及发展动态
【摘 要】
：
简述了离子注入机的应用发展,并详细分析了该领域的技术发展方向;概述了离子注入国内外现状和发展趋势,并阐述了发展的重要意义.
【机 构】
：
信息产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
：
中国电子学会第六届生产技术学分会学术年会
【发表日期】
：
2000年11期
其他文献
住房城乡建设部近日下发通知提出,向利用住房公积金贷款支持保障性住房建设试点城市(以下简称“试点城市”)派出督察员巡查组,对试点城市的相关情况进行巡查。通知明确,此次
香港已经回归祖国。最近一个时期,包括工人报刊、企业报刊在内的新闻媒体,围绕香港回归这一主题,进行了广泛的全方位的宣传报道,取得了很大成绩,积累了丰富的宣传经验。今天
根据热工技术监督工作的具体要求，提出了热工技术监督信息管理系统完整的设计思想，并介绍了系统的技术特点。
According to the specific requirements of thermal engineerin
简述了离子注入机的应用发展，并详细分析了该领域的技术发展方向；概述了离子注入国内外现状和发展趋势，并阐述了发展的重要意义。
在超大规模集成电路的生产中，离子注入是相当重要的工艺过程。离子注入机在净化间中占了很大的面积。在净化要求越来越高，净化费用越来越高的今天，如何缩小离子注入机的占地面积
电大远程教育教学模式构建的总体思路是:培养目标应注重知识传授与职业应用能力的培养相结合；教与学的关系处理应注重以学生的自主学习为主；教学方式应注重对远程信息技术的综