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以p-型硅片为基底,采用化学镀方法首次制备了Co-P非晶态合金膜,其非晶态结构由XRD确定.样品分别进行高温热处理和氧化-还原循环处理,结合XRD、ICP、SEM和XPS等表征方法,研究了上述热处理过程中样品的结构、表面形貌、表面电子态及表面组成的变化.
Co-P非晶态合金膜的化学镀制备及其表征
【摘 要】
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以p-型硅片为基底,采用化学镀方法首次制备了Co-P非晶态合金膜,其非晶态结构由XRD确定.样品分别进行高温热处理和氧化-还原循环处理,结合XRD、ICP、SEM和XPS等表征方法,研究了上述热处理过程中样品的结构、表面形貌、表面电子态及表面组成的变化.
【机 构】
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上海师范大学化学系(上海)
【出 处】
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第四届全国青年精细化工学术会议
【发表日期】
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2001年3期
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