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本文采用扫描电镜(SEM)、示差扫描量热分析(DSC)、三维原子探针(3DAP)等方法研究了Ru含量（0， 1.5，3 wt％）对单晶高温合金中γ′相的析出及演化过程的影响。研究结果表明：随着Ru含量的增加，铸态γ′相尺寸略有减小；γ′相的析出温度略有降低。固溶处理和时效处理后获得的γ′相尺寸都随Ru含量的增加而减小。三维原子探针结果表明Ru的加入使γ′相中的Re、Mo等基体富集元素的浓度增加。在1100℃长期时效过程中，γ′相尺寸随时效时间延长而增大或连接；随着Ru含量的增加，γ′相的粗化速率明显增加。Ru元素增加了γ′相的形筏速率。