【摘 要】
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利用中频磁控溅射技术,分别溅射硼靶和石墨靶,在单晶硅衬底上制备了BCN薄膜。采用原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)对薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。利用
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000
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利用中频磁控溅射技术,分别溅射硼靶和石墨靶,在单晶硅衬底上制备了BCN薄膜。采用原子力显微镜(AFM)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)对薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。利用UMT摩擦磨损试验机分别考察BCN薄膜和类金刚石碳膜(DLC)在1-正丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液润滑剂润滑下的摩擦磨损性能,并利用电化学腐蚀的方法考察了薄膜在离子液中的耐腐蚀性能,实验结果表明：所制备的BCN薄膜均匀、致密,表面粗糙度较小,薄膜中主要含有B-C、B-N和C=N等价键结构,具有典型的BCN薄膜结构特征；在摩擦磨损性能和耐腐蚀性能方面,类金刚石碳膜(DLC)和BCN薄膜在液润滑剂润滑下都表现出良好的抗磨减摩性能和抗腐蚀性能。但与类金刚石碳膜相比,BCN薄膜表现出更高的承载力和抗腐蚀性。这可能是由于制备BCN薄膜具有较少的针孔,薄膜更加致密的结果。
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