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Design a proper FBAR of the unique mode with maximum effective electromechanical coupling coefficien
【机 构】
：
MEMS research Lab,Kunming University of science and technology,Kunming,YunNan,CHINA
【出 处】
：
中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
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2008年期
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