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微波放电是无电极放电,能获得纯净和高密度的等离子体。在微波等离子体中存在大量的长寿命自由基,微波能增强气体分子的激发、电离和离解过程。由于等离子体具有一定的空间分布,为了沉积出比较均匀、纯净和高质量的半导体薄膜,故需要对反应室内的等离子体的分布的均匀性进行测试研究。
微波等离子体制备类金刚石薄膜的研究
【摘 要】
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微波放电是无电极放电,能获得纯净和高密度的等离子体。在微波等离子体中存在大量的长寿命自由基,微波能增强气体分子的激发、电离和离解过程。由于等离子体具有一定的空间分
【机 构】
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华南师范大学物理与电信工程学院 广州大学城 510006
【出 处】
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第十届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2007年期
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