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研制了一种用于半导体激光器精确冷却控温的微型组件,可以在-30℃~60℃环境温度下将小型半导体激光器的温度控制在20℃~30℃之间的设定值,控温精度达到±0.2℃。组件由蒸气压缩制冷系统、载冷系统、精确温控系统三部分组成。采用了压缩机变频控制和PID加热补偿精确控制相结合的控温技术。实验表明,组件工作可靠、整体效率高、控温稳定,在高温环境下仍能保持良好的性能。