【摘 要】
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本文针对GaAs基激光器，在波导层和限制层之间引入非对称而且掺杂的低折射率插入层，该新型结构不仅能降低发散角而且可以改善阈值电流。为了提高激光器的光束质量和降低激光
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京100083
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本文针对GaAs基激光器，在波导层和限制层之间引入非对称而且掺杂的低折射率插入层，该新型结构不仅能降低发散角而且可以改善阈值电流。为了提高激光器的光束质量和降低激光器的发散角，传统做法是在波导层和覆盖层之间对称插入对称的且无掺杂的低折射率层。但较低的垂直发散角，意味着较低的光学限制因子，这将导致激光器较高阈值电流密度。为解决阈值电流与发散角的矛盾问题，本文对传统插入层进行改进，提出非对称的而且掺杂的插入层结构。非对称结构可以降低在p型限制层的光学损耗，而插入层掺杂可以改善能带结构，降低载流子泄露。这两者都有利于阈值电流的降低。因此，与传统做法相比，新型激光器结构在降低发散角的同时，最大程度地降低了阈值电流。
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