【摘 要】
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作为扫描探针显微镜(SPM)的一员,磁力显微镜(MFM)在表征磁性薄膜的磁学性能起着至关重要的作用.本文主要综述了相移成像、频移成像、振幅差值成像的磁力显微镜成像原理;评述
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610000
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作为扫描探针显微镜(SPM)的一员,磁力显微镜(MFM)在表征磁性薄膜的磁学性能起着至关重要的作用.本文主要综述了相移成像、频移成像、振幅差值成像的磁力显微镜成像原理;评述了不同种类磁性针尖型探针对图像分辨率的影响和磁畴量化分析的影响;最后,介绍了磁信号的表征方法,包括MFM图像表征、MFM图像模拟、AFM和MFM图像的一体化表征.
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