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本文利用高分辨X射线衍射技术对MgO(001)衬底上利用脉冲激光沉积法(PLD)外延生长的一个生长周期内Pr0.7Sr0.3MnO3层厚度分别为24(A)、48(A)、72(A)、96(A)、120(A)的超晶格薄膜[Pr0.7Sr0.3MnO3/La0.5Ca0.5MnO3(48(A))]20进行了详细地结构和应变分析.结果表明:超晶格[Pr0.7Sr0.3MnO3/La0.5Ca0.5MnO3]20随周期内Pr0.7Sr0.3MnO3层厚度的增加,并没有表现出显著的应变弛豫.这是超晶格La0.5Ca0.5MnO3(LCMO)层与Pr0.7Sr0.3MnO3(PSMO)层相互作用引起的应变和弛豫的结果.另外,由于MgO衬底上的缓冲层La0.5Ca0.5MnO3(240(A))与超晶格的作用诱导了超晶格的压应变和弛豫,超晶格平均面内晶格常数都略小于靶材LCMO和PSMO的晶格常数.