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使用金属有机物沉积(MOD)制备钇钡铜氧(YBCO)超导膜的热处理过程中，中间相演化和YBCO生长过程的控制可以明显影响最终的临界电流密度，因此对相关物理机制的分析理解具有重要意义。本实验室近两年来，使用热力学方法对中间相的生成优先性、YBCO膜生长速率两个问题进行了深入的研究。首先以物质吉布斯自由能函数法和物质生成标准摩尔吉布斯自由能法两种计算方法，比较了BaF2相对于其他的含钡或含氟中间相的生成优先性，从而解释了氟钡比2∶1前驱溶液用于高性能YBCO超导膜制备的可行性。然后对YBCO生成反应的"反应-扩散"模型进行了扩展，提出生长速率与烧结温度的函数关系，利用该函数结合原位电阻测量方法的实验数据，可以估算YBCO生成反应的标准摩尔焓变、熵变和吉布斯自由能变。此外，本实验室使用原位电阻测量方法估算了YBCO饱和形核密度形核随烧结温度的变化情况，并以形核动力学的"capture zone"机制进行了数据分析和拟合，可用于估算Y、Ba、Cu在基底表面的平均扩散激活能。