【摘 要】
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采用低氟金属有机化学沉积方法(LF-MOD)可以快速地制备高性能YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜.通过优化中温阶段的水分压和升温速率以及高温晶化阶段的温度、气氛、气流方向
【机 构】
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上海大学,高温超导重点实验室,上海200444
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采用低氟金属有机化学沉积方法(LF-MOD)可以快速地制备高性能YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜.通过优化中温阶段的水分压和升温速率以及高温晶化阶段的温度、气氛、气流方向等各个阶段的实验参数,获得了表面平整、织构良好、具有较高超导性能的YBCO薄膜.为进一步提高LF-MOD方法制备YBCO薄膜的超导载流性能,本文在前驱液中调整了钇(Y)的化学计量比,制备了一系列的YxBa2Cu3O7-δ(x=0.9、1.0、1.1、1.2、1.33、1.66)薄膜.测试结果发现过量的Y元素在超导薄膜里是以c轴取向的Y2O3相存在的,并确定了最优的Y含量约为x=1.3,Y2O3作为钉扎中心有效地提高了YBCO薄膜的载流性能.
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